fw�9e�u�ngany�^���v�~vf'`���ogan�w݄iqledhv�nteso'`��'ye^�^�cؚ�'y'ym�no�ngan�w݄iqled�v�sto5uam�m�no�nckt�]\o5u�s��cؚ�niq���q�r�s0
& & & &
,g�e�_0r�n�v�[863��r0�v�[�6q�yf[�wё�n�sye����siqpg�enhv�n�]zxvz-n�_y��v�vd��r0
sq.�͋�.lsir� mocvd� led�bs_t�ỳce\�ls��iq��siq�iq�\1�
�2 �y�exd��_7h
study on mocvd growth and properties of iii-d!nitrides and high brightness blue led wafers
abstract
gan based b!-d! nitrides have potential applications on high brightness leds, short wavelength lasers, ultraviolet detectors, high temperature and high power electronic devices. study on physics issues and technologies of nitrides open a new area of 3th generation semiconductor.
more than ten companies in america and japan reported to have developed the nitrides growth technology since nichia company in japan first realized the commercialization of gan based blue led in 1994.
in this thesis,gan and its ternary were grown by a home-made atmosphere pressure metalorganic chemical vapor deposition (mocvd) and thomas swan 6�2 mocvd systems. high bright blue led wafers were obtained by optimizing the nitrides growth technology and wafer structure. some encouraging results are following as:
1. we present the idea of using a buffer layer of deviation from stoichiometry for materials growth on large lattice mismatch substrates. this idea was realized in nitrides growth in this thesis. the epilayer crystalline quality was improved and the dislocation density was decreased by using gan low and high temperature buffer layers of deviation from stoichiometry. the rbs/channeling spectra exhibited that the minimum yield �min of gan layers was just only 1.5%. the leak electric current of gan based led was obviously decreased and lower than 1�a at 5 volt reverse voltage by using this new buffer technology.
& & & &
this work was supported by 863 program in china.
keyword: nitrides�mocvd�led�photoluminescence�rbs/channeling�optical absorption
30ck�e_7h
,{1�z gan�wjs�[sopg�e�shv�nۏu\
1 .1 iii�e.lsirpg�e�svqhv�n�vۏu\n�^(u
1.1.1 iii�e.lsirpg�e�svqhv�n�vۏu\
(w�yf[�b/g�v�su\ۏz-n�pg�e8lnbo@w͑��҉r�0(wn�s�n�y�bb1\o`o`�vsq�vcsn�ypg�e-n�js�[sopg�e�v\o(u$\vq�ydk0�nsi:n�nh��v,{n�njs�[soދu�n20n�~40t^�n g��[�n�ob�nvfso�{0ɩb5ut���{:g�v�sf0�ngaas:n�nh��v,{�n�njs�[soދu�n20n�~60t^�n��[�nb:n6r\oiq5up[hv�n�v�w@x0iii
�d!�e.lsirjs�[sopg�e�shv�nxvz�s�e30yot^�mr20t^ۏu\ba�t10t^�su\ŏs01u�niii�e.lsiryr g�v&^����v�oo��viq05u'`(��o_�vpg�e:g�h�tsf['`���o�_�[(w�w�l�iq5up[hv�n�eb� g@w^�l�v�^(umrof�v^n^�8^�t6r\o�b��\0ؚ��0'y�r�s�tؚ�[�^ɩb�v5up[hv�n0iii
�d!�e.lsirjs�[sopg�e�]_w��n�v�qyoyxvz��vtq��0
& & & &
1�2 iii�e.lsir�v�w,g�~�g�t'`(�
& & & &
40�vh�_7h
�1 �h�_7h
h�1-1(u
nt�b/g�_0r�v&^��)n�^�|pe0eg00(c�tt0�vy�1990�302-307�
[4] miler�frequency synthesizers[p]�us patent�4609881�1991-08-06�
[5] candy j c�a use of double-integretion in sigma-delta modulation[j]�ieee trans commun�1985�33(com)�249-258�
[6] n][8l��6r_\per����vxvz[d]�s�n�*�)y�,{�nxvzb��1997�
��s��e.s�n_(uhqtz��^�s��l�nck�e�v�^y ���_{�_(u�v�c����v�s�e�e.s��]u_(u�_�sh��v�e�z�_(u�e��_{��lf
rir
t�y0��(w�e.s���vt�~ hyperlink \l "�vu_" �q�e.s{|�whƌ�nw�[m]0���eɩ[c]0f[mo���e[d]0�bjt[r]0g
r[j]0h�q[s]0n)r[p]0 �
� "�
enh�en�ntnu��q�h�en�vn�e
�s��e.sck�e-n�e(u�[so\�vw[��e(utimes new romanw[so�e\�]v�mdmfmrm�m�m�ȳȗ��xgxxi9'#h�w�h1/ob*cj\�ajo(phh1/oh1/ob*cj\�o(phh1/ob*cj\�ajo(phha�b*cj\�ajo(ph h�w�ha�b*cj\�ajph#h�w�ha�b*cj\�ajo(phh�w�ha�b*o(ph4jh1/o5�b*cj$u\�aj$mhnho(phu hmhi�5�b*cjojqjajo(ph hmha�5�b*cjojqjajo(phbjhmhi�5�b*cj$ojqju\�aj$mhnho(phu2mfm�m
ppfpxpzphpvp�p�p�p���������}nndd$g$h$ifgd�o��;ddg$h$wd{`�;gda��ddg$h$^�gda�
��h����ddg$h$ud]�gda�
���ddg$h$ud]�gda�
����hdhg$h$udwd�]�`�hgd1/o
�������g$h$udxddydd]�gd1/o�m�m
nnhnpnppp$p&pfpzpfphpvpxp~p�p�p�p�p������︦����sfxkxk=xh�w�ha�5�b*h*phh�w�ha�5�b*phh�w�ha�5�b*o(phh�w�ha�b*o(ph#h�w�ha�b*cj\�ajo(phh�w�ha�b*\�ajo(ph h�w�ha�b*cj\�ajph#h�w�ha�b*cj\�ajo(ph4jh1/o5�b*cj$u\�aj$mhnho(phuh�w�ha�b*cjphh�w�ha�b*cjo(phh�w�ha�b*cj\�o(ph�p�p�p�p�p�p�p�p�p�p�pqqqqqq"q$q&q(q2qqjqlqnqpqrq\qfqhqlq������ǻ�������������p�������^�" j��h�w�ha�b*pjo(phh�w�ha�b*cjo(ph ja�h�w�ha�b*pjphh�w�ha�b*pjo(phh�w�ha�b*h*pjphh�w�ha�b*pjphh�w�ha�b*o(phh�w�ha�5�b*phh�w�ha�5�b*o(phh�w�ha�5�b*h*ph ja�h�w�ha�5�b*ph �p�p�p�pq"q$q2qqrq\qrq3$$$dd$g$h$ifgd�o��kd$$if�l�֞i��
�p�!�7���t�8�8��8�0���������������������������������������4�
la��lqpq�q�q�q�q�q�q�q�q�q�q�q�q�q�q�q�q�q�q�q�q�qrrrr
rrrr"r&r(r*r4r6r:r>rlrnrpr\r^r`rbrdrlrtrvrzr~r�r����������������������������������������������������" j��h�w�ha�b*pjo(phh�w�ha�b*o(phh�w�ha�b*h*pjphh�w�ha�b*cjo(phh�w�ha�b*pjph" j��h�w�ha�b*pjo(phh�w�ha�b*pjo(phh�w�ha�b*h*pjo(ph4rq~q�q�q�q����$�7dd$g$h$if`�7a$gd�o�dd$g$h$ifgd�o��q�q�q�q3$$dd$g$h$ifgd�o��kd�$$if�l�֞i��
�p�!�7���t�8�8�8�0���������������������������������������4�
la���q�q�q�q�q�q�����$�7dd$g$h$if`�7a$gd�o�$dd$g$h$ifa$gd1/odd$g$h$ifgd�o�$dd$g$h$ifa$gd�o��q�q
rr(r3$$$dd$g$h$ifgd�o��kd�$$if�l�֞i��
�p�!�7���t�8�8�8�0���������������������������������������4�
la��(r,r@rhrnr����$�7dd$g$h$if`�7a$gd�o�dd$g$h$ifgd�o�$dd$g$h$ifa$gd�o�nrprdrlr�r3$$$dd$g$h$ifgd�o��kdu$$if�l�֞i��
�p�!�7���t�8�8�8�0���������������������������������������4�
la���r�r�r�r�r�r�r�r�r�r�r�r�r�r�rs$s&s8s@slsnshsjsls�����������~m�x�x�p? h�w�ha�b*cjajo(phh��h��<�)jh�w�ha�b*umhnhphu h�w�ha�b*ojqjo(phh�w�ha�5�b*ph#h�w�ha�5�b*cj aj o(phh1/ob*phh�w�ha�b*o(phh�w�ha�b*cjo(phh�w�ha�b*h*pjo(ph" j��h�w�ha�b*pjo(phh�w�ha�b*pjo(phh�w�ha�b*pjph�r�r�r�r�r����$�7dd$g$h$if`�7a$gd�o�dd$g$h$ifgd�o��r�r�r3%
$ddg$h$a$gda��kd$$if�l�֞i��
�p�!�7���t�8�8�8�0���������������������������������������4�
la���r�r�r�r�r�r�r�r�rss4s6s8sjsls�����������������ddg$h$wd�`��gda�$��ddg$h$wd�`��a$gda�
$ddg$h$a$gda�$�vddg$h$wd,`�va$gda�$�ddg$h$^�a$gda�
ddg$h$gda��ddg$h$^�gda�lsfshsjs�s�snn��dd$�
��&�#$/��g$h$ifwdx`��b$gd�o�gd��kkd�$$if�l������n�
6��m �����0�������������������4�
la�e4�hdd$�m ��&�#$/��g$h$ifwd�`�hb$gd�o�ls�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�sttttt8t:tt������������������������thh1/ob*cj\�ph4jh1/o5�b*cj$u\�aj$mhnho(phuh�w�ha�b*\�ajo(phh1/oha�5�b*phh1/oha�5�b*o(ph)jh�w�ha�b*umhnhphuh��h��<�h�w�ha�b*ph h�w�ha�b*cjajo(phh�w�ha�b*o(ph%�s�s�s�s�s��ttdd$�����&`#$/��g$h$ifb$gd�o�gd��kkdm$$if�l��o���n�
6��
�����0�������������������4�
la�e4�s�s�s�s�s��ttdd$�m��&�#$/��g$h$ifb$gd�o�gd��kkd�$$if�l��o���/�
6`��������0�������������������4�
la�e4�s�s�s�s�s��ttdd$����&�#$/��g$h$ifb$gd�o�gd��kkd�$$if�l��o���m�
6��m�����0�������������������4�
la�e4�s�s�s�s�s��ttdd$�a&��&�#$/��g$h$ifb$gd�o�gd��kkd$$if�l��o�����
6��������0�������������������4�
la�e4�s�s�s�s�s�s�s�stt��wwwwfuw�o ddg$h$wd~`�o gda��ddg$h$wd�`�gda�
ddg$h$gda���ddg$h$wd�`��gda�kkd�$$if�l������n�
6��a&�����0�������������������4�
la�e4 t8t:tpt^t�tvxv�v�w0x6xfy��������z������ �ddg$h$wd8�^��`� �gdv}v��� �ddg$h$wd8�^��`� �gd�\����h�ddg$h$wdv�^��`�h�gdv}v
ddg$h$gda�$
���ddg$h$ud]�a$gdv}v
���ddg$h$ud]�gda�
$ddg$h$a$gd1/o>tntptrttt\t^t�u�u0x6x>x@x�x�ݾ��patag7*�hv}vb*\�ajo(phh�w�ha�b*\�ajo(phh�w�ha�b*o(phhv}vha�b*cjphhv}vha�b*cjo(ph'hv}vha�b*ojpj\�ajo(ph.hv}vha�5�b*cjojpj\�ajo(phbjhv}vhv}v5�b*cj$ojpju\�aj$mhnho(phu<jhv}v5�b*cj$ojpju\�aj$mhnho(phu#h�w�ha�b*cj\�ajo(phh�w�ha�b*cj\�o(ph
�x�x�x�x�x�x�x`ybydyfyhyjylynyrytyvy���ݷ��͎��jrj:.hmhm<�5�b*cjojqj\�ajo(ph.hmh�\�5�b*cjojqj\�ajo(ph.hmhv}v5�b*cjojqj\�ajo(phhv}vh�w�ha�o(h�w�ha�cj o(hv}vb*cj\�o(ph#h�w�ha�0jb*cj\�o(ph �j3h�w�ha�b*cju\�phh�w�ha�b*cj\�o(phh�w�ha�b*cj\�ph%jh�w�ha�b*cju\�phfyhyjyvy�yzz$z&z*z,z0z2z6z8zz����������������gdt*g
��dhwd�`��gd�fl
��dhwd�`��gd�\�
�2dhwd�`�2gd�\�$
���ddg$h$ud]�a$gdv}vgda�
��:ddg$h$wdb`�:gda�vyxy�y�y�y�yzzzzz"z$z&z(z,z.z2z4z8z:z>z@zlznzpztzvzbzdzfzhzjznz���ӻ�ȱțȍ�}y}y}y}yoioieoiozoieh�0jmhnhuh�
h�0jjh�0juh7jh7uh�i�h�\�o(h�flh�i�cjojqjo()jh�\�cjojqjumhnho(uhv}vcjojqjo(h�\�h�\�cjojqjh�\�cjojqjo(h�\�h�\�cjojqjo(<jh�\�5�b*cjojpju\�ajmhnho(phu!>zpzrztzjzlznzpzrz�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z {"{d{f{�������������������������gd,i
&dp��gd�i�����&`#$gd�o�nzpzrztz�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z{ {"{b{d{f{h{h{j{r{t{v{�{����������������������˺���������������o h,ihmb*cjajo(phh�b*cj\�ajo(ph#h,ih�b*cj\�ajo(phh,ih�cjajh�b*cjajo(ph h,ih�b*cjajo(phh7h�i�h�i�h�i�o(h�fl0jmhnhu
h�0jjh�0juh� h�o((f{t{v{�{�{�{�{�{�{ |"|2|4|@|b|p|r|b|d|�|�|�|�|}
}������������������������$a$gdm
ngdm
n$
���ddg$h$ud]�a$gdm
ngdmgd,i�{�{�{�{�{�{�{�{�{�{�{||| |"|0|2|4|>|@|b|j|n|p|r|`|b|d|��������;ѿ��ͪ��}�k\}�l}�h�w�h�5�b*ajo(phh�b*cj\�ajo(ph#h�w�h�b*cj\�ajo(phhm
nh�aj o( h�w�h�b*cjajo(ph#h�w�h�b*cj\�aj o(ph&h�w�h�5�b*cj\�aj o(phhmb*cj\�ajo(phhm#h,ihmb*cj\�ajo(phh�h,ihmcjajhmb*cjajo(phd|j|�|�|�|�|�|�|�|�|�|�|�|�|�|�|���ȹ����sctj�8#hm
nh�b*cj\�aj o(phhm
nh�aj o(h�b*cj\�aj o(phh�w�h�5�b*ajo(ph"h�w�h�5�b*\�ajo(phh�w�h�5�b*\�ajph&h�w�h�5�b*cj\�aj o(phh�hm
nh�cjajo(h�5�b*cjajo(ph#hm
nh�5�b*cjajo(ph#hm
nh�5�b*cj\�ajph&hm
nh�5�b*cj\�ajo(ph�|}}}
}},}4}f}h}j}z}h}�}�}�}�}�}�}�}�}�}���ӿ�����|s|�gsg�sbs hm5�b*cj\�ajo(ph&hm
nh�5�b*cj\�ajo(phhm
nh�cjajo(h�cjajo(hi�h�cjajo( h�5�b*cj\�aj o(ph&h�w�h�5�b*cj\�aj o(ph#h�w�h�5�b*cj\�aj ph&h�w�h�5�b*cj\�ajo(phh�hm
nh�aj o(hm
nh�b*\�ajo(phhm
nh�b*\�ajph
}h}j}�}�}�}�}�}�}~~f~h~�~�~�~�~vxnp��������������������������������gdt*ggd�\�gdv}vgdm
n�}�}�}�}�}�}�}�}~~~~$~d~f~h~�~�~�~�~�~�~tvx\`lnptx�������������������������������ĸߦ��~ߦ��~�o�oĸ�kh7h�b*cj\�ajo(phhv}vh�aj o(h�b*cj\�ajo(phhmb*cj\�ajo(ph#h�w�h�b*cj\�ajo(phhv}vh�cjajo(#hv}vh�b*cj\�ajo(phh�cjajo(h�hm
nh�cjajo( h�5�b*cj\�ajo(ph)���h�i�h�\�o(f00p&p 1�8:pi���. ��a!��"��#�n$�n%��s����dpc0p&p 1�8:p�o���. ��a!��"��#�n$�n%��s����dpc0p&p 1�8:p�o���. ��a!��"��#�n$�n%��s����dp6&p 1�8:p�o���. ��a!��"��#�n$�n%��s����6&p 1�8:p�o���. ��a!��"��#�n$�n%��s�����$$if��!vh#v7#v�#vt#v8#v�#v8:v�l�0��������,�,�5�75��5�t5�85��5�84�a���$$if��!vh#v7#v�#vt#v8#v�#v8:v�l�0��������,�5�75��5�t5�85��5�84�a���$$if��!vh#v7#v�#vt#v8#v�#v8:v�l�0��������,�5�75��5�t5�85��5�84�a���$$if��!vh#v7#v�#vt#v8#v�#v8:v�l�0��������,�5�75��5�t5�85��5�84�a���$$if��!vh#v7#v�#vt#v8#v�#v8:v�l�0��������,�5�75��5�t5�85��5�84�a���$$if�!vh#v�:v�l��
6��m �����0����������5��4�e4�$$if�!vh#v�:v�l�o
6��
�����0����������5��4�e4�$$if�!vh#v�:v�l�o
6`��������0����������5��4�e4�$$if�!vh#v�:v�l�o
6��m�����0����������5��4�e4�$$if�!vh#v�:v�l�o
6��������0����������5��4�e4�$$if�!vh#v�:v�l��
6��a&�����0����������5��4�e4gd���y������k��vu_b2���� 0@p`p������2(�� 0@p`p������ 0@p`p������ 0@p`p������ 0@p`p������ 0@p`p������ 0@p`p��8x�v~pj_hmh nhsh thj`��ja�ck�e$1$a$ cjkh_hajmh nhsh thb@ba�h�� 1'$$$d����@&xd2yd2a$cj(khojpjrhzaj,$a`���$؞���k=�w[sobi@���bnf�h�*b*ph�n@"ni�u� w'$
�9r &dg$p��a$cjajpk!����[content_types].xml���n�0e�h���-j��@%�ǎǣ|�ș$�ز�u��l�tb� l,�3��;�r��ø��j��b $�g]��7o٭v��xjm)ʬuw��lfd���ݮ� 5_��4cs��j��-v��?k3���rm}�����g��z����
��g��s�嚋7���xw�����sȉ��r�
�w*)|��jȫk��xͫ���
dx��ibf؇bn�h (�
�*��'vɗ3kz����jz'c*����_=}��<9����ݻw~���]�8��^~��_o�?����xy���ýg�~^�������g}j��0��e�m��h��=���ԅ����ξa�>s�$�-, �o�ɠ���=hp� ua/� �uo d*:�(�.�f�t�����u��/!�9$v[|h���rv����s��-i�u�t.
�����6��ڪ�4c����ebs)����bmj�b�e��k�p���u�m����,�f�d��$͑�{6gu���vf�~�b��#�v���b�@�q�ttw��.�ޛd)��i�@��vdq�9y���^��x�����7�{2�%�u��h�x�� a���f6]>�f#s�m�*���q�q��dh��ehk����)���@��?71����o�ggo��`:fղ�e������k�p£�2nj��8��ǰ�d �cb�?8���1e��>�ne��eu}�h�]��dm1iq6��褣�֧<��z[[v�|�0��p�sz�4��f؉�]�j�����qv�1�1ߖ��⃛��
��`̔4��s 3t��4��h���
��pk!
ѐ��'theme/theme/_rels/thememanager.xml.rels��m
�0���wooӻ�&݈э���5
6?$q��
�,.�a��i����c2�1h�:�q��m��@rn��;d�`��o7�g�k(m&$r(.1�r'j��њt���8��v�"��aȼ�h�u}��|�$�b{��p����8�g/]�qasم(����#��l�[������pk-!����[content_types].xmlpk-!�֧��60_rels/.relspk-!ky���theme/theme/thememanager.xmlpk-!�ln����theme/theme/theme1.xmlpk-!
ѐ��'� theme/theme/_rels/thememanager.xml.relspk]�
,>vj�������� @^t����gse}�"��������������������5����7����6����8������������������������������������/���� ��������!����"����#����%����'����&���� ����,��������,>vj�������� @^t����gse}�
��^
�2��"�����h�����������������
����� $$$$&&&&&&3333bbooooqqqqqtl
|
b����^ *"f#�&�'r(`rlm�m�plq�rls>t�xvynz�{d|�|�}��!#$'(*,.acdfgjqv]^`bdefhi����^ *"z$h'�'�_g2m�pzf{
}� "%&) -@behiklmnoprstuwxyz[\_acg4j�"x�� &-/bikt!�!���!���!����@� *9@���������h ��0�( �
���)8�x�( �
��\b
�
s�d���"�?���\b
�
s�d���"�?���\b
�
s�d���"�?���\b
�
s�d���"�?���vb
�
c�d��"�?���vb
��
c�d��"�?���\b
�
s�d���"�?���\b
�
s�d���"�?���\b
�
�
s�d���"�?� ��vb
�
c�d��"�?�!��vb
�
c�d��"�?�"��\b
�
�
s�d���"�?���\b
�
s�d���"�?���b�
�
c��gih"�?��
��b�
�
c��gvh��"�?��
��b�
�
c��gw���h��"�?��
��h�
�
s��gi���hq�"�?��
��b�
�
c�� g�h�"�?��
� �b�
�
c��g
���h�"�?�
�
��b�
�
c��
g����h��"�?� �
�
�b�
�
c��g
���hee��"�?��
��b�
�
c��
gb�h��"�?��
�
�b�
�
c��g�[��h�#"�?�
�
��b�
�
c��g����h��"�?��
��b�
�
c��g���h�b��"�?��
��b�
�
c��gjlh&"�?��
��b�
�
c��g����h�"�?��
��h�
�!
s���!g�w��h��"�?��
��h�
�"
s���"gv���h�"�?��
��h�
�#
s���#g�h�m"�?��
��b�
�%
c��g����h#��"�?�#�
��b�
�&
c��g����h �"�?�%�
��b�
�'
c��gqh�p"�?�$�
��b�
�
c��g����h�`"�?�&�
��b�
�,
c��g���h�q��"�?�'�
��b�
�/
c��g\]h�m"�?��
��b�
�5
c��gih"�?��
��b�
�6
c��gvh��"�?��
��b�
�7
c��gw���h��"�?��
��h�
�8
s��gi���hq�"�?��
��b
�s���� ?������������ �
���
� �!�"�#�%�&�'� �,�/�5�6�7�8^
_
`
j
"
�������,23<qs�vwxy`�����������u��"o �����0t� $����&ht&����0t�#`'� t5o �����0t7� $����&ht6&����0t8�#`'� t��"�t9!%&�t&-,.th�n�t������9t������%�tg ��&nt;����u�t/����|d���t ���&t����0u�t!��&�t"���'pt#3t�"tt /�/�t����t$ �% [t$ ���t�t)���t��%�t�{�t����t
��t
$ $ qt�$ t8t%u��t'{$���2(�t&���������t tn������t,���#jt��
_hlt163552673e�"@f�"��%%w&%w'%w(%w)%w*%w %w,%w-%w.%w/%w0%w1%w2%w3%w4%w5%w6%w7%w^fv_aiq?r^�����m.-�"
dl|demudyc�����r87�"
;*�urn:schemas-microsoft-com:office:smarttags�chsdate�<*�urn:schemas-microsoft-com:office:smarttags�chmetcnv�b
*�urn:schemas-microsoft-com:office:smarttags�country-region�9*�urn:schemas-microsoft-com:office:smarttags�place�pb� �0�1�12�1899�1986�1991�2�2.1�2.2�2.3�2.54�2.67�30�6�8�cm�day�false�hasspace�islunardate �isrocdate�month�negative
�numbertype�sourcevalue�tcsc�unitname�year
it]_egiy����������0368klv����������������67efmnuv|�������������
{���������123456789:;<=>?@aglmrsx^efmnu���������� ps^_e������
klqst{�����������������iklp����acdhlbdowx����������� ! ( 1 6 | � j
o
p
b
c
k
l
n
o
p
r
�
�
�
�
�
�
p|������/012;d^inp��
#
$
(
*
w
s
y
z
{
~
�
�
�
�
�
�
�
�
*>@ahfhiq�������������� -tydw�������� #_cwz}����� ./2=>ejotx[������
$'*-gmtwz��!$ ,-.��q]��`c����,/bc������ =>be����������,.24;=eh��������$%() ,.=?egswcg������&89fhimsz^beijklps}~�������������������������%&-.jk`itu����������������$%,-78ghxc������������������5?bfinqtwz]`cf��������� u � � � � � � � � � �!�!c"d"f"h"r"t"�"�"chqyfic e p r u
�
�
�
�
�
-=wf������*gus�������-
l
y
w
�
�
�
�
�
�
-;kbt�������(0of~����jl������������=b����������������� �!�!�!�!�"�"�"�"333ssssssssssssssssssssssssssssssssss33s3ss3ssss3s333��]e�� r{��jp��bh�
"
�����xy����hno�����������k��������������� * 1 � � � � � � � � � � � !
!%!'!=!?!]! "d"f"p"�"�"11��������! " �no������������������������� u � � � �!�!h"i"j"j"p"p"t"u"v"v"|"|"�"�"�_�k7�!���������w�sg����������r�z&�d���������������^��`��5o(�h�h,{�z��h�\��h^�h`�\�)����\���^��`�\�.����\���^��`�\�.��4�\��4^�4`�\�)��� �\��� ^�� `�\�.��|�\��|^�|`�\�.��
�\��
^�
`�\�)����\���^��`�\�.��� �^��`� �ojpjqj^j0�
�h�\�^�h`�\��h�h)�
���\�^��`�\��h�h.�
���\�^��`�\��h�h.�
�4�\�^�4`�\��h�h)�
�� �\�^�� `�\��h�h.�
�|�\�^�|`�\��h�h.�
�
�\�^�
`�\��h�h)�
���\�^��`�\��h�h.�g����g^�g`���o(��
�'�\��'^�'`�\��h�h)�
���\���^��`�\��h�h.�
�o�\��o^�o`�\��h�h.�
�
�\��
^�
`�\��h�h)�
���\���^��`�\��h�h.�
�[
�\��[
^�[
`�\��h�h.�
���\���^��`�\��h�h)�
���\���^��`�\��h�h.�_�k�r�zw����������������d�� ��l� �xf� &�%�c�,im��
,7�k9!g�sg�flm
n�ks�,v�?@abcdefghijklmnopqrstuvwxyz[\]^_`abcdefghij����lmnopqr����tuvwxyz{|}~���������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������root entry�������� �f`��ь����data
������������k1table����s�]worddocument����b�summaryinformation(�������������documentsummaryinformation8���������compobj������������n������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������
���� �fmicrosoft word 97-2003 �ĵ�
msworddocword.document.8�9�q