-尊龙凯时

��ࡱ�>�� ������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������_� �r��bjbjb�bb�r~��������������t����>>>����$>�x�� frrr:3"\3 h3xxxxxxx$�z�x]>;x]�\:�.�:3\:\:;x��rr4�x�o�o�o\:���r�rx�o\:x�o�ov�v@�qwr�����ztь�������h��v x�x0�x�vx�]�kp�]qw�]�qw�p3�4��ob5��5~p3p3p3;x;x$nxp3p3p3�x\:\:\:\:���������������������������������������������������������������������]p3p3p3p3p3p3p3p3p3�, �: �eyof[b�,g�y�kn��������e ��d�qĉ� :n�n�r:_f[ur�e���r�t�] z�[�����r�v�w{q ��cؚ,g�y�kn��������e ��v(�ϑ �of[u���e�d�q�f�rĉ�s ��s6r�� 0�eyof[b�,g�y�kn��������e ��d�qĉ� 00 (n�y�sgqgbl�) n0\b��\b��~n(uc�[�v�kn��������e �\b�eۏh�� �:n�mq�q� ��s�n��orh�� ��b�~��>e(worh��̑0 n0xd�� xd��/fn�{�[te�v�w�e �n,��^�fxvz�]\o�v�v0�[���e�l0�~�g�tg�~�~��i{ � �͑�p/f�~�g�t�~��0xd��w[pe���s_ �-n�exd��n,��n200w[�]�s0 -n�exd���h��\�n�s�[so�r�| � xd�� $nw[�v�s�[so �xd���q�[\�v�s�[so � sq.�͋ nw[\�v�s�[so�r�| � �exd���h��\�n�stimes new roman so�r�| � abstract �v�stimes new roman so� abstract �q�[\�v�stimes new roman so � keyword \�v�stimes new roman so�r�|0 �v0�vu_��vu_\o:n���e�v�c�~ �r�q���et�~b�r�v\h�� ��^�{f|b�� �n�v�n6q0�s>f:y� n�~�vu_0 �vu_ $nw[\ n�s�[so�r�| ��vu_�q�[\�v�s�[so0 �n0ck�e�h���v�s�[so �ck�e�q�[\�v�s�[so �l���ݍ1.5 p,0 mq0u�b���n� n2.54cm, n2.54cm,�]3.67cm,�s2.67cm �u� w��n:n�e\-n �u� wkn nrnag�~ �(u5�sw[�[so �u� w(u���e�v tw[�u����n:n��cequ�x �u�x:n?��b/opew[ �e\-n �5�sw[�[so0 n0h�\ n�rh�p0 as0�s��e.s��s��e.s(u�v�s�[so ��s��e.s�q�[\�v�s�[so �vq-n�e(u\�v�stimes new roman so0 asn0�"���"�$nw[�v�s�[so ��"��q�[\�v�s�[so0 as�n0�kn��������e ��]\oϑ��bl� �n �t�]�y{|�kn��������e ��s�nr:n n���q�y{|�w��] z����0t��xvz0�[��xvz0���{:go��n0�~t���ei{09hncb!h�`�q �r r�[ُ�q�y{|�w�v�kn��������e ��c�q�n nwqso��bl� 1��] z����{| t�|�b� ��s9hnc n tnn�vyr�p ��[f[u�] z�����]\oϑ�c�q��bl0f[u�^9hnc��bl�r�z�~6rn�[ϑ�v�] z�����v�~ �v^�d�qn�n8000w[�]�s�v�����ffn� 2�t��xvz{| f[u�^�[ ����v�v�v0ain0,g�����v�qy�vxvz�s�rۏl��~�� ��c�q�z���v�w,g�onc ��ǐr�g�c�q��]�v�ehh �v^ۏl��^!j0�nw�t����0���{i{0���ew[pe�^(w1.2nw[�n n0 3��[��xvz{| f[u�^(w�f�[��xvz�v�v�v�w@x n ��n6r���[���ehh_�y ��r�z�[bn*n�[te�v�[��0�^�s�_��y�v�[��penc �v^�[vqۏl�r�g�t�v�^�vyt ��~�q�_���v�[���f�~0�vh� ��_�q�[���~��0���ew[pe�^(w1nw[�n n0 4����{:go��n{| f[u�^�r�z�[bn*n�^(uo��nb��'yo��n-n�vn*nbpe*n!jww����0�ջ ��o����y�v�]\oϑ � t�e���q�q8000w[�]�s�vo��no(u�ffn�t���e0 5��~t���e{| f[u�^�[bmr4�y{|�w���e-n�v2^�3{|�q�[ �v^n�[b1nw[�n n�v���e0 ��n ��~0�{0�e0y�{|�kn���e�s�nr:n n���q�y{|�w�n��0����0y��vxvz0�~��0�~t���ei{0 1�n��{| n蕺����gnf[�y-n�v�gnf[/g��vf[/g���e0�d�qُ�y���e ���bl(wmr�nxvzb�g�v�w@x n ��n�v�c�����vb__ ��nckb��c�q�[�gnf[�y-n�gnf[/g��v�e���0 2�����{| ����/f9hnceqr�v��nc ����[�n�n(w�gnf[�y-n�v�gnf[/g��v����c�qvq� ��ǐ����eg�sh��e���0 3�y��vxvz{| f[u�^(w�fy��vxvz�v�v�v�w@x n ��n6r��y��vxvz�ehh_�y ��r�z�[bn*n�[te�vy��v�����txvz0�^�s�_��y�v�[��penc�t�b/gpg�e �v^�[vqۏl�r�g�t�v�^�vyt ��~�q�_���v�[���f�~0�vh� ��_�q�[���~��0�sgqnnĉ� ��d�q���e0 4��~��{| �~��/fr_�~0;`�~0�n�~bċ���s�n-ny�n�x�[�gnf[�y-n�v�gnf[/g��v���0 5��~t{| �~t/f\�~��{|�t����{|$n�yb__�~tw�eg�vn�y����0 �n n�n�y{|�w���egw���q�q1nw[�n n�v���e0 �sy �y�nn�kn���e ����vnx�[��&{ty�yef['y�~�v�w,g��bl �n@bf[nn�v�q�[�vt��c0�kn���e��(u@bf[�v,{ny티d�q �����cknxĉ� ��z��_so��kn���e�v�{e^�~4000^�5000*ny�eus͋��exd���~200^�300*nus͋ �v^ g�v�^�v-n�exd��0 as n0sbps��bl����e\�v\�^(uemr��v�~�~sbps ����eck�e������ffn ��^o(ua4�~usb�sbps0 as�v0�kn��������e ��vň��0r_ch �1 � �kn��������e ��vň��z��^:n�`$\b�����0rye�ryq�z n}�f[!h�~n\b� �a$-n�e���v0xd��0sqep͋�b$�e���v0xd��0sqep͋�c$�vu_�d$ck�e�e$�s��e.s�f$�"�0 �2 ��kn��������e ��vd��er_ch�q�[:n�`$�]ň��b�q�v�kn��������e ��e,g�a$�kn��������e �ǐ z�{tkb�q�b$f[u�s�ru�n�[`n�v�e�� ��[`n�b/g�bjt ��[`nusmo�vt��[0ċ�na��i{pg�e�c$f[u�kn��������e �6eɩ�v�vsqpg�e0�n�s����{|\o�tbiq�v05u�g0�v�~0�[ir�snv^ňeq�kn��������e ��vd��e��-n��kn��������e ��vd��e��1uye�ry�~n�s>e0�d��e��\b���0rye�ryq�z n}�v^kxeq�v�^pew[6qt4�(wd��e�� n �0 wqsofn�q_7h�y n� 10t�y�vu__7h �v u_ xd��0& & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & 1 abstract & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & 2 ,{1�zgan�wjs�[sopg�e�shv�nۏu\�ype�e�z:n �~�� �& & & & & & & & & & 1 1 .1 iii�e.lsirpg�e�svqhv�n�vۏu\n�^(u & & & & & & & & & & & & & & & & 1 1.1.1 iii�e.lsirpg�e�svqhv�n�vۏu\& & & & & & & & & & & & & & & & & & 1 1.1.2 iii�e.lsirpg�e�svqhv�n�vۏu\& & & & & & & & & & & & & & & & & 3 1. 2 iii�e.lsir�v�w,g�~�g�t'`(� & & & & & & & & & & & & & & & & 4 1. 3 �cbg�tbg(�yr'` & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & 12 1. 4 .lsirpg�e�v6ry & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & 13 1. 5 .lsirhv�n & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & 19 1. 7 ,g���e�]\o�v�q�[n�[�c & & & & & & & & & & & & & & & & & & 24 ,{2�z .lsirmocvdu��|�~�tu��]z� & & & & & & & & & & & & & & & & 31 2. 2,g���e.lsiru�@b(u�vmocvd��y & & & & & & & & & & & & & & & & 32 �~�� & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & 136 �s��e.s�references �& & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & 138 �"� & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & 150 20�e�y�vu__7h �v u_ xd��0& & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & 1 abstract & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & 2 n0gan�wjs�[sopg�e�shv�nۏu\�ype�e�z:n �~�� �& & & & & & & & & & 1 �n � iii�e.lsirpg�e�svqhv�n�vۏu\n�^(u & & & & & & & & & & & & & & & 1 1. iii�e.lsirpg�e�svqhv�n�vۏu\& & & & & & & & & & & & & & & & & & 1 2. iii�e.lsirpg�e�svqhv�n�vۏu\& & & & & & & & & & & & & & & & & 3 ��n � iii�e.lsir�v�w,g�~�g�t'`(� & & & & & & & & & & & & & & & & 4 � n � �cbg�tbg(�yr'` & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & 12 ��v � .lsirpg�e�v6ry & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & 13 ��n � .lsirhv�n & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & 19 �mq � ,g���e�]\o�v�q�[n�[�c & & & & & & & & & & & & & & & & & & 24 �n0 .lsirmocvdu��|�~�tu��]z� & & & & & & & & & & & & & & & & 31 �n �,g���e.lsiru�@b(u�vmocvd��y & & & & & & & & & & & & & & & 32 �~�� & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & 136 �s��e.s�references �& & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & 138 �"� & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & 150 30xd��_7h �1 �-n�exd��_7h iii-d!�e.lsir�svqؚ�n�^݄iq  ledy�^gr�vmocvdu��t'`(�xvz  xd �� �[�y&^iii �d!�e.lsirjs�[sopg�e(w�w�l�ؚ�n�^�siqhv�n0�w�l��oiqhv0iq�ckmhv�n�sؚ���t'y�r�s5up[hv�ni{�eb� g@w^�l�v�^(umrof0�1994t^�e,g�e�nsf[�]nlq�s�shq(w�ve� n�z4x�ngan�w݄iqledy�^pg�eu��b/g�neg ��0�ei{�vasyo�[lq�s�v�~�b�[�c�c�nُy�sq.��b/g �v^r r�[�s�nybϑb\ybϑu�ngan�wled0=\�{�ydk �ُy�ؚ�b/g�ny�nؚ�^�o�[�r` �pg�eu��vsq.�`�`�s8h�_�b/g�n*glq_ �؏�e�l�n�s��e.s�sn)rlq�b-n���sg͑���vpg�eu��oo`0,g���e1\/f(wُ�y�`�q n�z���v ��e(wxvzgan�wpg�eu�-n�virt�ssf[� �:nu��sfu�ts�vؚ�n�^gan�wledy�^pg�e�c�o�yf[�onc0 ,g�e(w�6r8^�smocvd�t��vۏ�smocvd�|�~ n�[iii �d!�e.lsir�vu�:gtۏl��nxvz ��[pg�e�v'`��ۏl��nh��_0�ǐ����v^osy�^gryb\�~�g �u��v݄iqledy�^gr(�ϑ��0r�n�vmr�ve� nfu�ts�v-nؚch4ls^0v^���_�n�y n gr�e�t gain�vxvz�~�g� $&�������� � � � � � � b f l �������������x�xh[k @ r d j l z | ����ҵ��ҵ��ҧ��қ�}�}�ққҍ}�j}�}�}�$h�w�h)�b*cjojpjo(phh�w�h)�b*cj\�o(phh)�b*cj\�o(phha�b*cj\�o(phh�w�ha�b*cjphh�w�ha�b*cjo(phh�w�ha�b*cj\�phh�w�ha�b*cj\�o(phhwu�hwu�b*cj\�o(phhwu�b*cj\�o(ph&� l � z dd�� ������jjj � ��8��� �ddg$h$wd8�^��`� �gde_$�x���dd1$g$h$wd�^�x`���a$gde_��� �ddwd8�^��`� �gde_��� �dd�d�dwd8�^��`� �gde_ � ��8��� �ddg$h$wd8�^��`� �gd�y� � ��8��� �ddg$h$wd8�^��`� �gdwu� | ~ � � � � � � � � � � �  <>bh��`bhjlntvxz��������������bdfz\`b�����������ŵ����򵦵����������������������������hmb*cj\�o(phha�b*cj\�o(phhe_he_b*cj\�phhe_he_b*cj\�o(phh�sgh�sgb*cj\�o(phh�sgb*cj\�o(phh�w�ha�b*cj\�o(phhe_b*cj\�o(ph7b����������� �����>f\`bln "�����������﹬ӭ���rc�rcrcrc�rcrcrc�rcrcrc�h��h��b*cj\�phh��h��b*cj\�o(phh�frb*cj\�o(phh��b*cj\�o(phhwu�hwu�b*cj\�o(phhwu�b*cj\�o(phha�b*cj\�o(phhmb*cj\�o(phhe_b*cj\�o(phh�w�ha�b*cj\�phh�w�ha�b*cj\�o(ph& ��^n"��|�����{�]�]� � ��8����ddg$h$vd�wdd^��`��gd�fr � ��8���hddg$h$vd�wd�^��`�hgd�fr � ��8��ddg$h$vd�^��gd�fr � ��8��ddg$h$vdv^��gd�fr � ��8��ddg$h$vd�^��gd�� � ��8�g���ddg$h$vdrwd��^�g`���gde_ ���t\z~��������������046<>�����@dfpr*.068����������������������������������������ӷ�ӷ���ӷ���ӷ���ӷ���ӷ�����������������h�frh�frb*cj\�phh�frh�frb*cj\�o(phh��b*cj\�o(phh�frb*cj\�o(phh��h��b*cj\�phh��h��b*cj\�o(ph=��2>��br,8������������������� � ��8���hddg$h$vd�wd�^��`�hgd�fr � ��8��ddg$h$vd�^��gd�fr � ��8����ddg$h$vdrwd��^��`��gd�fr � ��8����ddg$h$vd�wdd^��`��gd�fr����<>@bddj����������������������ջիիջ��՞���{b1jhv}v5�b*cjuajmhnho(phu ht*gh�o�5�b*cjojpjajo(phht*gb*cj\�o(phh�i�b*cj\�o(phh�w�h�i�b*cj\�o(phh�sgb*cj\�o(phha�b*cj\�o(phh�w�ha�b*cj\�o(phhe_b*cj\�o(phhwu�b*cj\�o(ph�@d���������������rd $ddg$h$a$gda� � ��8ddg$h$gda� ��'ddg$h$wdb`�'gd�y���ddg$h$wd�`��gd�i��w���ddg$h$vd�wd��^�w`���gd�o�����ddg$h$vd�wd��^��`��gda� ddg$h$gda� � ��8��� �ddg$h$wd8�^��`� �gda� ������������(*,>v~������ֹ様��{l`tl{l`tlb"h�w�hm5�b*cj\�o(phh�o�b*cjo(phh,ib*cjo(phh�w�ha�b*cjo(phh�w�ha�5�b*cjo(phh�w�ha�b*o(phhv}v5�b*cjajo(ph#h�w�ha�5�b*cjajo(phh�w�ha�b*\�ajo(phhmb*cj\�o(phh�w�ha�b*cj\�o(ph1jh,i5�b*cjuajmhnho(phu�,��*~�p� ^ ������}}}}}$ �����ddg$h$ud vdd]�^��a$gdm n#$ ������pddg$h$ud vddwd�]�^��`�pa$gd,i#$ ������)ddg$h$ud vddwd]�^��`�)a$gd,i $ddg$h$a$gdm $ddg$h$a$gd,i ���������$(*6l������&(bj��  ^ ������������{k{k{k���^���{�{���hm nb*cj\�o(phh�w�h,ib*cj\�o(phh,ib*cj\�o(phha�b*cj\�o(phh�w�ha�b*cj\�phh�w�ha�b*cj\�o(phh,ib*cjo(phh�w�ha�b*cjo(phh�w�ha�5�b*cjo(ph"h�w�hm5�b*cj\�o(phhm5�b*cj\�o(ph^ ` b f l v � � � � � � ! !b!j!z!x!�!�!�!�!�!�!" "*"�����ɶ������~q~�~q~�~q~_oh�w�ha�5�b*cjo(ph#h�w�ha�5�b*cjaj o(phh,ib*cj\�o(phh�w�ha�b*cj\�o(phh,ib*cjo(phh�w�ha�b*cjphh�w�ha�b*cjo(ph$h,i5�b*cjojqj\�o(ph*h�w�ha�5�b*cjojqj\�o(phhm5�b*cj\�o(ph"h�w�ha�5�b*cj\�o(ph^ � !z!�!" " """""""""" """$"&"("*"���������������������� � ��8ddg$h$gda�$ ���ddg$h$ud ]�a$gdm n$ ���ddg$h$ud ]�a$gdm n*","d"p"�"�"@#�#�#.$z$�������wwy$ �����ddg$h$ud vdd]�^��a$gdm#$ ������pddg$h$ud vddwd�]�^��`�pa$gdm#$ ������)ddg$h$ud vddwd]�^��`�)a$gdm $ddg$h$a$gdm $ddg$h$a$gdm � ��8ddg$h$gdm � ��8ddg$h$gda� *","2"4"6":"b"d"f"h"l"n"p"t"�"�"�"�"�"�"�"�"&#2#<#@#f#��̼̼�ٚ��~n_s_n_s_dn_s_�hm5�b*cj\�o(phhmb*cjo(phh�w�hmb*cjo(phh�w�hm5�b*cjo(phh�w�hmb*o(phhm5�b*cjajo(ph#h�w�hm5�b*cjajo(phh�w�hmb*\�ajo(phh�w�hmb*cj\�o(phhmb*cj\�o(ph1jhm5�b*cjuajmhnho(phuh�o�5�b*cjo(phf#h#�#�#�#�#�#�#$,$.$4$6$r$v$z$�$�$�$�$�$ %%%%d%j%l%�%�%�%�%�%�%�%& &b&j&v&z&�&�&�&���������������������������ṧ���~o�o�o����h�w�hmb*cjo(ph$hm5�b*cjojqj\�o(ph*h�w�hm5�b*cjojqj\�o(ph"h�w�hm5�b*cj\�o(phhm5�b*cj\�o(phhmb*cj\�o(phhmb*cjo(phh�w�hmb*cj\�o(phh�w�hmb*cj\�ph z$�$%d%�%&v&�&'v'x'z'\'^'`'b'd'f'h'������������������ � ��8ddg$h$gdm$ ���ddg$h$ud ]�a$gdm$ ���ddg$h$ud ]�a$gdm$ �����ddg$h$ud vdd]�^��a$gdm�&�&�&�&''@'h'v'x'x'z'|'~'�'�'�'�'�'�������޿���{�k[i<h�w�ha�b*o(ph#h�w�ha�b*cj\�ajo(phh�w�ha�b*cj\�o(phh�w�ha�5�b*cjo(ph4jhm n5�b*cj$u\�aj$mhnho(phuh�o�5�b*cjphhm5�b*cjo(phh�w�hm5�b*cjo(ph#h�w�hm5�b*cjaj o(phhmb*cj\�o(phh�w�hmb*cj\�o(ph"h�w�hm5�b*cj\�o(phh'j'l'n'p'r't'v'x'z'|'�'�'�'�'�'�'����������������$ �����ddg$h$ud vdd]�^��a$gda�$ ���ddg$h$ud ]�a$gda� ddg$h$gda��ddg$h$^�gda� � ��8ddg$h$gda� � ��8ddg$h$gdm�'�'�'�'�'�'�'�'�'�'�'�'.(8(:(@(h(j(r(��ɮ����ɜ��xdsd1d$h�w�ha�b*cjojqjo(phh�w�ha�b*cjo(ph h�w�ha�b*cjojo(ph&hm nha�5�b*cj\�ajo(ph&hm nha�5�b*cj\�aj o(phh�w�ha�b*\�ajo(ph#h�w�ha�b*cj\�aj o(ph4jhm n5�b*cj$u\�aj$mhnho(phu&h�w�ha�5�b*cj$\�aj$o(ph#h�w�ha�5�b*cj$\�aj$ph h�w�ha�b*cjajo(ph�'(.(:(|*t _&_�_�_�_��������o] � ��8ddg$h$gda� � ��8�x���dhg$h$wd|�^�x`���gd� � ��8��dhg$h$wd�`��gd� ����dhg$h$wd�`��gd���dhg$h$wd�`��gd�$ �����ddg$h$ud vdd]�^��a$gda�$ ���ddg$h$ud ]�a$gda� r(�*�*�*�* t ^_�_�_�_�_�_�_�_�_�_�_�_`��������๩��t�y�>�>4jhi�5�b*cj$u\�aj$mhnho(phu4jh�fw�9e�u�ngany�^���v�~vf'`�� �ogan�w݄iqledhv�nteso'`��'ye^�^�cؚ �'y'ym�no�ngan�w݄iqled�v�sto5uam �m�no�nckt�]\o5u�s ��cؚ�niq���q�r�s0 & & & & ,g�e�_0r�n�v�[863��r0�v�[�6q�yf[�wё�n�sye����siqpg�enhv�n�] zxvz-n�_y��v�vd��r0 sq.�͋�.lsir� mocvd� led�bs_t�ỳce\�ls��iq��siq�iq�\1�   �2 �y�exd��_7h study on mocvd growth and properties of iii-d! nitrides and high brightness blue led wafers abstract gan based b!-d! nitrides have potential applications on high brightness leds, short wavelength lasers, ultraviolet detectors, high temperature and high power electronic devices. study on physics issues and technologies of nitrides open a new area of 3th generation semiconductor. more than ten companies in america and japan reported to have developed the nitrides growth technology since nichia company in japan first realized the commercialization of gan based blue led in 1994. in this thesis,gan and its ternary were grown by a home-made atmosphere pressure metalorganic chemical vapor deposition (mocvd) and thomas swan 6�2 mocvd systems. high bright blue led wafers were obtained by optimizing the nitrides growth technology and wafer structure. some encouraging results are following as: 1. we present the idea of using a buffer layer of deviation from stoichiometry for materials growth on large lattice mismatch substrates. this idea was realized in nitrides growth in this thesis. the epilayer crystalline quality was improved and the dislocation density was decreased by using gan low and high temperature buffer layers of deviation from stoichiometry. the rbs/channeling spectra exhibited that the minimum yield �min of gan layers was just only 1.5%. the leak electric current of gan based led was obviously decreased and lower than 1�a at 5 volt reverse voltage by using this new buffer technology. & & & & this work was supported by 863 program in china. keyword: nitrides�mocvd�led�photoluminescence�rbs/channeling�optical absorption  30ck�e_7h ,{1�z gan�wjs�[sopg�e�shv�nۏu\  1 .1 iii�e.lsirpg�e�svqhv�n�vۏu\n�^(u 1.1.1 iii�e.lsirpg�e�svqhv�n�vۏu\ (w�yf[�b/g�v�su\ۏ z-n �pg�e8l܏nbo@w͑��҉r�0(wn�s�n�y�bb1\o`o`�vsq�vcsn�ypg�e-n �js�[sopg�e�v\o(u$\vq�ydk0�nsi:n�nh��v,{n�njs�[soދu�n20n�~40t^�n g ��[�n�ob�nvfso�{0ɩb5ut���{:g�v�sf0�ngaas:n�nh��v,{�n�njs�[soދu�n20n�~60t^�n ��[�nb:n6r\oiq5up[hv�n�v�w@x0iii �d!�e.lsirjs�[sopg�e�shv�nxvz�s�e30yot^ �mr20t^ۏu\ba �t10t^�su\ŏs01u�niii�e.lsiryr g�v&^����v �oo��viq05u'`(� �o_�vpg�e:g�h�tsf['`�� �o�_�[(w�w�l�iq5up[hv�n�eb� g@w^�l�v�^(umrof�v^n^�8^�t6r\o�b��\0ؚ��0'y�r�s�tؚ�[�^ɩb�v5up[hv�n0iii �d!�e.lsirjs�[sopg�e�]_w��n�v�qyoyxvz��vtq��0 & & & & 1�2 iii�e.lsir�v�w,g�~�g�t'`(� & & & & 40�vh�_7h �1 �h�_7h h�1-1(u n t�b/g�_0r�v&^��)n�^�|pe0eg00(c�tt0�v

y �1990�302-307� [4] miler�frequency synthesizers[p]�us patent �4609881�1991-08-06� [5] candy j c�a use of double-integretion in sigma-delta modulation[j]�ieee trans commun �1985 �33(com)�249-258� [6] n][8l��6r_\per����vxvz[d]�s�n�*�)y�,{�nxvzb� �1997� ��s��e.s�n_(uhqtz��^�s��l�nck�e�v�^y � ��_{�_(u�v�c����v�s�e�e.s ��]u_(u�_�sh��v�e�z�_(u�e ��_{��lf rir t�y0��(w�e.s���vt�~ hyperlink \l "�vu_" �q�e.s{|�whƌ�nw�[m]0���eɩ[c]0f[mo���e[d]0�bjt[r]0g r[j]0h�q[s]0n)r[p]0 � � "� enh�en�n tnu��q �h�en�v n�e �s��e.sck�e-n�e(u�[so\�vw[ ��e(utimes new romanw[so �e\�]v�mdmfmrm�m�m�ȳȗ��xgxxi9'#h�w�h1/ob*cj\�ajo(phh1/oh1/ob*cj\�o(phh1/ob*cj\�ajo(phha�b*cj\�ajo(ph h�w�ha�b*cj\�ajph#h�w�ha�b*cj\�ajo(phh�w�ha�b*o(ph4jh1/o5�b*cj$u\�aj$mhnho(phu hmhi�5�b*cjojqjajo(ph hmha�5�b*cjojqjajo(phbjhmhi�5�b*cj$ojqju\�aj$mhnho(phu2mfm�m ppfpxpzphpvp�p�p�p���������}nndd$g$h$ifgd�o��;ddg$h$wd{`�;gda��ddg$h$^�gda� � �h����ddg$h$ud ]�gda� ���ddg$h$ud ]�gda� ����hdhg$h$ud wd�]�`�hgd1/o �������g$h$ud xddydd]�gd1/o �m�m nnhnpnppp$p&pfpzpfphpvpxp~p�p�p�p�p������︦����sfxkxk=xh�w�ha�5�b*h*phh�w�ha�5�b*phh�w�ha�5�b*o(phh�w�ha�b*o(ph#h�w�ha�b*cj\�ajo(phh�w�ha�b*\�ajo(ph h�w�ha�b*cj\�ajph#h�w�ha�b*cj\�ajo(ph4jh1/o5�b*cj$u\�aj$mhnho(phuh�w�ha�b*cjphh�w�ha�b*cjo(phh�w�ha�b*cj\�o(ph�p�p�p�p�p�p�p�p�p�p�pqq qqqq"q$q&q(q2qqjqlqnqpqrq\qfqhqlq������ǻ�������������p�������^�" j��h�w�ha�b*pjo(phh�w�ha�b*cjo(ph ja�h�w�ha�b*pjphh�w�ha�b*pjo(phh�w�ha�b*h*pjphh�w�ha�b*pjphh�w�ha�b*o(phh�w�ha�5�b*phh�w�ha�5�b*o(phh�w�ha�5�b*h*ph ja�h�w�ha�5�b*ph �p�p�p�pq"q$q2qqrq\qrq3$$$dd$g$h$ifgd�o��kd$$if�l�֞i�� �p� !�7���t�8�8��8�0���������������������������������������4� la��lqpq�q�q�q�q�q�q�q�q�q�q�q�q�q�q�q�q�q�q�q�q�qrrrr rrrr"r&r(r*r4r6r:r>rlrnrpr\r^r`rbrdrlrtrvrzr~r�r����������������������������������������������������" j��h�w�ha�b*pjo(phh�w�ha�b*o(phh�w�ha�b*h*pjphh�w�ha�b*cjo(phh�w�ha�b*pjph" j��h�w�ha�b*pjo(phh�w�ha�b*pjo(phh�w�ha�b*h*pjo(ph4rq~q�q�q�q����$�7dd$g$h$if`�7a$gd�o�dd$g$h$ifgd�o��q�q�q�q3$$dd$g$h$ifgd�o��kd�$$if�l�֞i�� �p� !�7���t�8�8�8�0���������������������������������������4� la���q�q�q�q�q�q�����$�7dd$g$h$if`�7a$gd�o�$dd$g$h$ifa$gd1/odd$g$h$ifgd�o�$dd$g$h$ifa$gd�o��q�q rr(r3$$$dd$g$h$ifgd�o��kd�$$if�l�֞i�� �p� !�7���t�8�8�8�0���������������������������������������4� la��(r,r@rhrnr����$�7dd$g$h$if`�7a$gd�o�dd$g$h$ifgd�o�$dd$g$h$ifa$gd�o�nrprdrlr�r3$$$dd$g$h$ifgd�o��kdu$$if�l�֞i�� �p� !�7���t�8�8�8�0���������������������������������������4� la���r�r�r�r�r�r�r�r�r�r�r�r�r�r�rs$s&s8s@slsnshsjsls������򲥝�����~m�x�x�p? h�w�ha�b*cjajo(phh� �h� �<�)jh�w�ha�b*umhnhphu h�w�ha�b*ojqjo(phh�w�ha�5�b*ph#h�w�ha�5�b*cj aj o(phh1/ob*phh�w�ha�b*o(phh�w�ha�b*cjo(phh�w�ha�b*h*pjo(ph" j��h�w�ha�b*pjo(phh�w�ha�b*pjo(phh�w�ha�b*pjph�r�r�r�r�r����$�7dd$g$h$if`�7a$gd�o�dd$g$h$ifgd�o��r�r�r3% $ddg$h$a$gda��kd$$if�l�֞i�� �p� !�7���t�8�8�8�0���������������������������������������4� la���r�r�r�r�r�r�r�r�rss4s6s8sjsls�����������������ddg$h$wd�`��gda�$��ddg$h$wd�`��a$gda� $ddg$h$a$gda�$�vddg$h$wd,`�va$gda�$�ddg$h$^�a$gda� ddg$h$gda��ddg$h$^�gda�lsfshsjs�s�snn��dd$� ��&�#$/��g$h$ifwdx`��b$gd�o�gd� �kkd�$$if�l������n� 6��m �����0�������������������4� la�e4�hdd$�m ��&�#$/��g$h$ifwd�`�hb$gd�o�ls�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s�s ttttt8t:tt�����������������������󬟬�thh1/ob*cj\�ph4jh1/o5�b*cj$u\�aj$mhnho(phuh�w�ha�b*\�ajo(phh1/oha�5�b*phh1/oha�5�b*o(ph)jh�w�ha�b*umhnhphuh� �h� �<�h�w�ha�b*ph h�w�ha�b*cjajo(phh�w�ha�b*o(ph%�s�s�s�s�s��ttdd$�����&`#$/��g$h$ifb$gd�o�gd� �kkdm$$if�l��o���n� 6�� �����0�������������������4� la�e4�s�s�s�s�s��ttdd$�m��&�#$/��g$h$ifb$gd�o�gd� �kkd�$$if�l��o���/� 6`��������0�������������������4� la�e4�s�s�s�s�s��ttdd$����&�#$/��g$h$ifb$gd�o�gd� �kkd�$$if�l��o���m� 6��m�����0�������������������4� la�e4�s�s�s�s�s��ttdd$�a&��&�#$/��g$h$ifb$gd�o�gd� �kkd$$if�l��o����� 6��������0�������������������4� la�e4�s�s�s�s�s�s�s�s tt��wwwwfuw�o ddg$h$wd~`�o gda��ddg$h$wd�`�gda� ddg$h$gda���ddg$h$wd�`��gda�kkd�$$if�l������n� 6��a&�����0�������������������4� la�e4 t8t:tpt^t�tvxv�v�w0x6xfy��������z������ �ddg$h$wd8�^��`� �gdv}v��� �ddg$h$wd8�^��`� �gd�\����h�ddg$h$wdv�^��`�h�gdv}v ddg$h$gda�$ ���ddg$h$ud ]�a$gdv}v ���ddg$h$ud ]�gda� $ddg$h$a$gd1/o >tntptrttt\t^t�u�u0x6x>x@x�x�ݾ��patag7*�hv}vb*\�ajo(phh�w�ha�b*\�ajo(phh�w�ha�b*o(phhv}vha�b*cjphhv}vha�b*cjo(ph'hv}vha�b*ojpj\�ajo(ph.hv}vha�5�b*cjojpj\�ajo(phbjhv}vhv}v5�b*cj$ojpju\�aj$mhnho(phu<jhv}v5�b*cj$ojpju\�aj$mhnho(phu#h�w�ha�b*cj\�ajo(phh�w�ha�b*cj\�o(ph �x�x�x�x�x�x�x`ybydyfyhyjylynyrytyvy���ݷ��͎��jrj:.hmhm<�5�b*cjojqj\�ajo(ph.hmh�\�5�b*cjojqj\�ajo(ph.hmhv}v5�b*cjojqj\�ajo(phhv}vh�w�ha�o(h�w�ha�cj o(hv}vb*cj\�o(ph#h�w�ha�0jb*cj\�o(ph �j3h�w�ha�b*cju\�phh�w�ha�b*cj\�o(phh�w�ha�b*cj\�ph%jh�w�ha�b*cju\�phfyhyjyvy�yzz$z&z*z,z0z2z6z8zz����������������gdt*g ��dhwd�`��gd�fl ��dhwd�`��gd�\� �2dhwd�`�2gd�\�$ ���ddg$h$ud ]�a$gdv}vgda� ��:ddg$h$wdb`�:gda�vyxy�y�y�y�yz zzzz"z$z&z(z,z.z2z4z8z:z>z@zlznzpztzvzbzdzfzhzjznz���ӻ�ȱțȍ�}y}y}y}yoioieoiozoieh�0jmhnhuh� h�0jjh�0juh 7jh 7uh�i�h�\�o(h�flh�i�cjojqjo()jh�\�cjojqjumhnho(uhv}vcjojqjo(h�\�h�\�cjojqjh�\�cjojqjo(h�\�h�\�cjojqjo(<jh�\�5�b*cjojpju\�ajmhnho(phu!>zpzrztzjzlznzpzrz�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z {"{d{f{�������������������������gd,i &dp��gd�i� ����&`#$gd�o�nzpzrztz�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z�z{ {"{b{d{f{h{h{j{r{t{v{�{����������������������˺���������������o h,ihmb*cjajo(phh�b*cj\�ajo(ph#h,ih�b*cj\�ajo(phh,ih�cjajh�b*cjajo(ph h,ih�b*cjajo(phh 7h�i�h�i�h�i�o(h�fl0jmhnhu h�0jjh�0juh� h�o((f{t{v{�{�{�{�{�{�{ |"|2|4|@|b|p|r|b|d|�|�|�|�|} }������������������������$a$gdm ngdm n$ ���ddg$h$ud ]�a$gdm ngdmgd,i�{�{�{�{�{�{�{�{�{�{�{||| |"|0|2|4|>|@|b|j|n|p|r|`|b|d|��������;ѿ��ͪ��}�k\}�l}�h�w�h�5�b*ajo(phh�b*cj\�ajo(ph#h�w�h�b*cj\�ajo(phhm nh�aj o( h�w�h�b*cjajo(ph#h�w�h�b*cj\�aj o(ph&h�w�h�5�b*cj\�aj o(phhmb*cj\�ajo(phhm#h,ihmb*cj\�ajo(phh�h,ihmcjajhmb*cjajo(phd|j|�|�|�|�|�|�|�|�|�|�|�|�|�|�|���ȹ����sctj�8#hm nh�b*cj\�aj o(phhm nh�aj o(h�b*cj\�aj o(phh�w�h�5�b*ajo(ph"h�w�h�5�b*\�ajo(phh�w�h�5�b*\�ajph&h�w�h�5�b*cj\�aj o(phh�hm nh�cjajo(h�5�b*cjajo(ph#hm nh�5�b*cjajo(ph#hm nh�5�b*cj\�ajph&hm nh�5�b*cj\�ajo(ph�|}}} }},}4}f}h}j}z}h}�}�}�}�}�}�}�}�}�}���ӿ�����|s|�gsg�sbs hm5�b*cj\�ajo(ph&hm nh�5�b*cj\�ajo(phhm nh�cjajo(h�cjajo(hi�h�cjajo( h�5�b*cj\�aj o(ph&h�w�h�5�b*cj\�aj o(ph#h�w�h�5�b*cj\�aj ph&h�w�h�5�b*cj\�ajo(phh�hm nh�aj o(hm nh�b*\�ajo(phhm nh�b*\�ajph }h}j}�}�}�}�}�}�}~~f~h~�~�~�~�~vxnp��������������������������������gdt*ggd�\�gdv}vgdm n�}�}�}�}�}�}�}�}~~~~$~d~f~h~�~�~�~�~�~�~tvx\`lnptx�������������������������������ĸߦ��~ߦ��~�o�oĸ�kh 7h�b*cj\�ajo(phhv}vh�aj o(h�b*cj\�ajo(phhmb*cj\�ajo(ph#h�w�h�b*cj\�ajo(phhv}vh�cjajo(#hv}vh�b*cj\�ajo(phh�cjajo(h�hm nh�cjajo( h�5�b*cj\�ajo(ph)���h�i�h�\�o(f00p&p 1�8:pi���. ��a!��"��#�n$�n%��s�� ��dpc0p&p 1�8:p�o���. ��a!��"��#�n$�n%��s�� ��dpc0p&p 1�8:p�o���. ��a!��"��#�n$�n%��s�� ��dp6&p 1�8:p�o���. ��a!��"��#�n$�n%��s�� ��6&p 1�8:p�o���. ��a!��"��#�n$�n%��s�� ���$$if��!vh#v7#v�#vt#v8#v�#v8:v �l�0��������,�,�5�75��5�t5�85��5�84�a���$$if��!vh#v7#v�#vt#v8#v�#v8:v �l�0��������,�5�75��5�t5�85��5�84�a���$$if��!vh#v7#v�#vt#v8#v�#v8:v �l�0��������,�5�75��5�t5�85��5�84�a���$$if��!vh#v7#v�#vt#v8#v�#v8:v �l�0��������,�5�75��5�t5�85��5�84�a���$$if��!vh#v7#v�#vt#v8#v�#v8:v �l�0��������,�5�75��5�t5�85��5�84�a���$$if�!vh#v�:v �l�� 6��m �����0����������5��4�e4�$$if�!vh#v�:v �l�o 6�� �����0����������5��4�e4�$$if�!vh#v�:v �l�o 6`��������0����������5��4�e4�$$if�!vh#v�:v �l�o 6��m�����0����������5��4�e4�$$if�!vh#v�:v �l�o 6��������0����������5��4�e4�$$if�!vh#v�:v �l�� 6��a&�����0����������5��4�e4gd���y������k� �vu_b 2���� 0@p`p������2(�� 0@p`p������ 0@p`p������ 0@p`p������ 0@p`p������ 0@p`p������ 0@p`p��8x�v~pj_hmh nhsh thj`��j a�ck�e $1$a$ cjkh_hajmh nhsh thb@b a�h�� 1'$$$d����@&xd2yd2a$cj(khojpjrhzaj,$a`���$ ؞���k=�w[sobi@���b nf�h�*b*ph�n@"n i�u� w'$ �9r &dg$p��a$cjajpk!����[content_types].xml���n�0e�h���-j��@%�ǎǣ|�ș$�ز�u��l�tb� l,�3��;�r��ø��j��b $�g]��7o٭v��xjm)ʬuw��lfd���ݮ� 5_��4cs��j��-v��?k3���rm}�����g��z���� ��g��s�嚋7���xw�����sȉ��r� �w*)|��jȫk��xͫ��� dx��ibf؇bn�h (� �*��'vɗ3kz����jz'c*����_=}��<9����ݻw~���]�8��^~��_o�?����xy���ýg�~^�������g}j��0��e�m��h��=���ԅ��� �ξa�>s�$�-, �o�ɠ���=hp� ua/� �uo d*:�(�.�f�t�����u��/!�9$v[|h���rv����s��-i�u�t. �����6��ڪ�4c����ebs)����bmj�b�e��k�p��� u�m����,�f�d��$͑�{6gu���vf�~�b��#�v���b�@�q�ttw��.�ޛd)��i�@��vdq�9y���^��x�����7�{2�%�u��h�x�� a���f6]>�f#s�m�*���q�q��dh��ehk����)���@��?71����o�ggo��`:fղ�e������k�p£�2֌nj��8��ǰ�d �cb�?8���1e��>�ne��eu}�h�]��dm1iq6��褣�֧<��z[[v�|�0��p�sz�4��f؉�]�j�����qv�1�1ߖ��⃛�� ��`̔4��s 3t��4��h��� ��pk! ѐ��'theme/theme/_rels/thememanager.xml.rels��m �0���wooӻ�&݈э���5 6?$q�� �,.�a��i����c2�1h�:�q��m��@rn��;d�`��o7�g�k(m&$r(.1�r'j��њt���8��v�"��aȼ�h�u}��|�$�b{��p����8�g/]�qasم(����#��l�[������pk-!����[content_types].xmlpk-!�֧��6 0_rels/.relspk-!ky���theme/theme/thememanager.xmlpk-!�ln����theme/theme/theme1.xmlpk-! ѐ��'� theme/theme/_rels/thememanager.xml.relspk]� ,>vj�������� @^t���� gse}�"��������������������5����7����6����8������������������������������������/���� ��������!����"����#����%����'����&���� ����,��������,>vj�������� @^t���� gse}� ��^ �2��"�����h����������������� ����� $$$$&&&&&&3333bbooooqqqqqtl | b����^ *"f#�&�'r(`rlm�m�plq�rls>t�xvynz�{d|�|�}��!#$'(*,.acdfgjqv]^`bdefhi� ���^ *"z$h'�'�_g2m�pzf{ }� "%&) -@behiklmnoprstuwxyz[\_acg4j�"x��  &-/bikt!�!���!���!����@� *9@���������h ��0�( � ���)8�x�( � ��\b � s �d���"�?���\b � s �d���"�?���\b � s �d���"�?���\b � s �d���"�?���vb � c �d��"�?���vb �� c �d��"�?���\b � s �d���"�?���\b �  s �d���"�?���\b � � s �d���"�?� ��vb �  c �d��"�?�!��vb �  c �d��"�?�"��\b � � s �d���"�?���\b � s �d���"�?���b� � c ��g ih "�?�� ��b� � c ��gvh�� "�?�� ��b� � c ��gw���h�� "�?�� ��h� � s ��gi���h q� "�?�� ��b� � c �� g�h� "�?�� � �b� � c �� g ���h� "�?� � � �b� � c �� g����h�� "�?� � � �b� � c �� g ���hee�� "�?� � � �b� � c �� gb�h�� "�?� � � �b� � c ��g�[��h�# "�?� � ��b� � c ��g����h�� "�?�� ��b� � c ��g���h�b�� "�?�� ��b� � c ��gjlh& "�?�� ��b� �  c ��g����h� "�?�� ��h� �! s ���!g�w��h�� "�?�� ��h� �" s ���"gv���h� "�?�� ��h� �# s ���#g�h�m "�?�� ��b� �% c ��g����h#�� "�?�#� ��b� �& c ��g����h � "�?�%� ��b� �' c ��gqh�p "�?�$� ��b� �  c ��g����h�` "�?�&� ��b� �, c ��g���h�q�� "�?�'� ��b� �/ c ��g\]h�m "�?�� ��b� �5 c ��g ih "�?�� ��b� �6 c ��gvh�� "�?�� ��b� �7 c ��gw���h�� "�?�� ��h� �8 s ��gi���h q� "�?�� ��b �s ���� ?������������ � � � � � �!�"�#�%�&�'� �,�/�5�6�7�8^ _ ` j    " �������,23<qs�vwxy`�����������u��"o �����0t� $����&ht&����0t�#`'� t5o �����0t7� $����&ht6&����0t8�#`'� t�� "�t9!%&�t&-,.th�n �t������9t������%�tg ��&nt;����u�t/����| d���t ���& t����0u�t!��&�t"���'pt#3t�"tt /�/�t����t$ �% [t$ ���t�t)���t��%�t�{�t����t ��t $ $ qt �$ t 8t%u��t'{$���2(�t& ���������t tn������t,���#jt�� _hlt163552673e�"@f�"��%%w&%w'%w(%w)%w*%w %w,%w-%w.%w/%w0%w1%w2%w3%w4%w5%w6%w7%w^fv_aiq ? r^�����m.-�"     dl|demu d yc�����r87�" ;*�urn:schemas-microsoft-com:office:smarttags�chsdate�<*�urn:schemas-microsoft-com:office:smarttags�chmetcnv�b *�urn:schemas-microsoft-com:office:smarttags�country-region�9*�urn:schemas-microsoft-com:office:smarttags�place� pb�  �0�1�12�1899�1986�1991�2�2.1�2.2�2.3�2.54�2.67�30�6�8�cm�day�false�hasspace �islunardate �isrocdate�month�negative �numbertype �sourcevalue�tcsc�unitname�year            it]_egiy����������0368klv����������������67efmnuv|�������������  {���������123456789:;<=>?@aglmrsx^efmnu����������  ps^_e������  klqst{�����������������iklp����acdhlbdowx�����������  ! ( 1 6 | � j o p b c k l n o p r � � � � � �  p | � � � � � �  / 0 1 2 ; d ^ i n p � �   # $ ( * w s y z { ~ � � � � � � � � *>@ahfhiq�������������� -tydw�������� #_cwz}����� ./2=>ejotx[������  $'*-gmtwz��!$ ,-.��q]�� `c����,/bc������ =>be����������,.24;=eh��������  $%() ,.=?egswcg������&89fhimsz^beijklps}~�������������������������%&-.jk`itu����������������$%,-78ghxc������������������5?bfinqtwz]`cf���������     u � � � � � � � � � �!�!c"d"f"h"r"t"�"�"chqyfic e p r u � � � � �   - = w f  � � � � � �   * g u s � � � � � � � - l y w � � � � � � -;kbt�������(0of~����jl������������=b�����������������  �!�!�!�!�"�"�"�"333ssssssssssssssssssssssssssssssssss33s3ss3ssss3s333��]e�� r{��jp��bh�   " �����xy����hno�����������k���������������  * 1 � � � � � � � � � � � ! !%!'!=!?!]! "d"f"p"�"�"11��������! " �no�������������������������  u � � � �!�!h"i"j"j"p"p"t"u"v"v"|"|"�"�"�_�k7�!��������� w�sg����������r�z&�d���������������^��`��5o(�h�h,{�z��h�\��h^�h`�\�)����\���^��`�\�.����\���^��`�\�.��4�\��4^�4`�\�)��� �\��� ^�� `�\�.��| �\��| ^�| `�\�.�� �\�� ^� `�\�)����\���^��`�\�. ��� �^��`� �ojpjqj^j0� �h�\�^�h`�\��h�h)� ���\�^��`�\��h�h.� ���\�^��`�\��h�h.� �4�\�^�4`�\��h�h)� �� �\�^�� `�\��h�h.� �| �\�^�| `�\��h�h.� � �\�^� `�\��h�h)� ���\�^��`�\��h�h.�g����g^�g`���o(�� �'�\��'^�'`�\��h�h)� ���\���^��`�\��h�h.� �o�\��o^�o`�\��h�h.� � �\�� ^� `�\��h�h)� �� �\��� ^�� `�\��h�h.� �[ �\��[ ^�[ `�\��h�h.� ���\���^��`�\��h�h)� ���\���^��`�\��h�h.�_�k�r�z w����������������d��        ��l�        �xf�        &�%�c�,im�� , 7�k9!g�sg�flm n�ks�,v�?@abcdefghijklmnopqrstuvwxyz[\]^_`abcdefghij����lmnopqr����tuvwxyz{|}~���������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������root entry�������� �f`��ь����data ������������k1table����s�]worddocument����b�summaryinformation(�������������documentsummaryinformation8���������compobj������������n������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������ ���� �fmicrosoft word 97-2003 �ĵ� msworddocword.document.8�9�q

网站地图